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一、機組配置

（1）JTFB-600F復合分子泵1臺。

（2）18升機械泵1臺。

（3）KF40手動角閥1套。

（4）高真空復合真空計1套。（包括KF40電離規(guī)、KF16熱偶規(guī)）

（5）直徑180mm*高138mm 測試罩1套。

（6）波紋管1根。

（7）帶腳輪、圍板的小車1套。

（8）工作電壓：380V

二、機組外形圖

三、機組外形尺寸